Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
モデル: Diborane
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ジボラン電子専門ガス電子産業ドーパント半導体材料
製品導入
ジボランには、B 2 H 6の分子式があり、相対分子量は27.67です。ジボランは、一種の無色の、可燃性、不安定で、毒性の高いガスであり、通常の状態で嫌な花火が臭いと甘い味があります（15℃、101.325kpa）。ジボランは非常に反応性の高い化合物であり、室温で不安定で、ゆっくりと分解してさまざまな内容物にさまざまなホウ酸化物を形成します。水素は同時に生成されます。ジボランの加水分解は、すぐに水で遭遇し、ホウ酸と大量の水素を生成します。 diborane11は、電子産業におけるガス状の不純物源、イオン着床、ホウ素ドープ酸化物の拡散のためのドーパントとして使用されます。
品質仕様
|
Items |
Units |
Index |
|
Dib orane11≥ |
Vol.% |
99.99 |
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CH4+C2H6，≤ |
ppm |
80 |
|
Nitrogen≤ |
ppm |
10 |
ジボランは、マイクロエレクトロニクス、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、LED、光繊維、医学、原子力発電、およびその他のフィールドでも使用できます。また、重合触媒、ロケットおよびミサイルの高エネルギー燃料として使用できます。 Diborane11は、シリコンとゲルマニウムの半導体製造、エピタキシャルの成長、不動態化、拡散、およびイオン移植に使用されるシリコンのPドープ源です。
パッケージと保管
diborane11はステンレス鋼のシリンダーに保存され、シリンダー中の純粋なdiborane11は室温で月に10％〜20％、diborane11は数ヶ月保存でき、分解速度は低温でははるかに低くなりますが、diborane11の貯蔵温度ははるかに低くなります。 -80より低くなります。貯蔵エリアは、開いた炎、火花、熱源から離れており、緊急の機器を装備するものとします。
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