Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd

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Edward Xu

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化学物質のエッチング剤のフッ化カルボニルCF2O

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製品の属性

モデルCarbonyl fluoride CAS: 353-50-4 CF2O

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Gram

カルボニルフッ化物CAS:353-50-4 CF2Oエッチング化学物質剤の純度


製品導入

フッ化カルボニル(CF 2 O)の分子量は66.01で、その融点は-114℃、沸点は-84°です。フッ化物カルボニルは、皮膚や呼吸器粘膜に強い刺激効果を持つ非常に腐食性の高い毒性があり、刺激性のあるガスであり、水とエタノールに溶解し、水に分解し、非常に有毒な腐食性ガスを放出します。新世代の電子産業におけるエッチングガスと洗浄ガスは、温室効果の効果が非常に低いため、地球温暖化の可能性が非常に低く、大気寿命が非常に低い(1年未満)、環境に優しいです。

品質仕様

Items

Units

Index

Carbonyl fluoride(CF2O)≥

Vol.%

99

Oxygen, Argon(O2+Ar)≤

Vol.ppm

100

Nitrogen(N2)≤

Vol.ppm

1000

Carbon tetrafluoride(CF4)≤

Vol.ppm

150

Carbon dioxide(CO2)≤

Vol.ppm

2500

応用

フッ化カルボニルは、電子産業の洗浄ガスおよびエッチングガスとして使用されます。これは、温室効果が非常に低い環境に優しいです。フッ化物カルボニルは、有機合成と無機合成において、重要なフルイダイザーおよび蛍光原料としても使用できます。フッ化カルボニルは有機合成において重要な中間体でもあり、フッ素プラスチックまたはその他のダウンストリーム製品を生産するために使用されます。フッ化物カルボニルは、化合物(特に蛍光化学物質)を浄化および乾燥させることもできます。

パッケージングストレージ

カルボニルフッ化物は標準のシームレスシリンダーに保管されています。パッキング仕様には10 Lと40 Lが含まれています。ユーザーの要件に応じて、特定のパッケージ仕様をカスタマイズできます。製品は、火と熱源から離れた、怪しげな乾燥した換気のある貯蔵庫に保管されています。水分、雨、直射日光から保護します。


製品グループ : 半導体電子化学材料 > 半導体/ウェーハ洗浄剤

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