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シリコンテトラフルオリドSIF4化学特殊ガス

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Overview

製品の属性

モデル: High purity silicon tetrafluoride CAS#: 7783-61-1

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販売単位:: Gram

高純度シリコンテトラフルオリドCAS：7783-61-1 SIF4 99.999％

5N化学電子専門ガス

製品導入

テトラフルオリドシリコン（SIF ₄ ）は、分子量が104.06の一種の無色、毒性、刺激性、臭気ガスです。テトラフルオリドシリコンは容易に繊細なもので、湿った空気で濃い煙を生成できます。テトラフルオリドシリコンは、エタノール、エーテル、硝酸、フルオリオ酸に溶けます。その吸湿性は非常に強く、SIF ₄変化は圧力下で液体に変化します。

品質仕様

Items	Units	Index
Silicon tetrafluoride（SiF₄）≥	Vol.%	99.999
Hydrogen（H₂）≤	Vol.ppm	1
Oxygen + Argon（O₂+Ar）≤	Vol.ppm	0.5
Nitrogen（N₂）≤	Vol.ppm	4
Carbon monoxide（CO）≤	Vol.ppm	0.1
Carbon dioxide（CO₂）≤	Vol.ppm	0.3
Methane（CH₄）≤	Vol.ppm	1
Hydrogen sulfide（SH₂）≤	Vol.ppm	0.1
Oxygen（O₂）≤	Vol.ppm	0.1
Sulfur dioxide（SO₂）≤	Vol.ppm	10
Total impurity content≤	Vol.ppm	1
Hexafluorodimethyl silicone ether	Supply and demand agreement	Supply and demand agreement
As、B、P	Supply and demand agreement	Supply and demand agreement
Particle	Supply and demand agreement	Supply and demand agreement

応用

シリコンテトラフルオリドは、主にP型ドーパント、エッチング剤、およびエピタキシャル堆積拡散シリコン窒化シリコン源として、電子産業におけるタンタルムサイロイシドとして使用されます。SIF4は、電子シランまたはシリコンの調製にも使用でき_ます。さらに、テトラフルオリドシリコンを使用して、人工大理石の太陽電池、フッ素酸、フッ化物、セメント、硬化剤を生成できます。

製品グループ : 半導体電子化学材料 > フッ素を含む高純度の電子スペシャルガス

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