Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
モデル: Hexafluoroethane CAS: 76-16-4 C2F6
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ヘキサフルオロエタンCAS：76-16-4 C2F6ハイト純度
99.999％5Nの半導体エッチャントガス
製品導入
ヘキサフルオロエタン（C 2 F 6 ）は、パーフルオロエタンとしても知られており、一種の無色の、無臭、非炎症性のある不活性ガスです。通常の温度と圧力では、その融点は100.6℃で、沸点は78.2℃で、水にわずかに溶けます。ヘキサフルオロエタンは、R125とフッ素ガスの反応によって生成され、精製と整流後に電子グレード製品を得ました。非毒性、無臭、高い安定性により、ヘキサフルオロエタンは半導体製造プロセスで広く使用されています。ヘキサフルオロエタンは、乾燥エッチャントとして、非常に小さなエッジサイドエッチング、高いエッチング速度、高精度の利点があり、小さなライン幅の半導体製造プロセスの要件を満たすことができます。
品質仕様
|
Items |
Unit |
Indexs |
|
C2F6 |
Vol.% |
≥99.999 |
|
O2+Ar |
Vol.ppm |
＜1 |
|
N2 |
Vol.ppm |
＜5 |
|
CO |
Vol.ppm |
＜0.5 |
|
CO2 |
Vol.ppm |
＜0.5 |
|
H2 |
Vol.ppm |
＜0.5 |
|
Halohydrocarbon |
Vol.ppm |
＜5 |
|
CH4 |
Vol.ppm |
＜1 |
|
H2O |
Vol.ppm |
＜2 |
|
Acidity（Measured by HF） |
Wt. ppm |
＜0.1 |
|
Total impurity content |
Mol.ppm |
≤10 |
応用
電子グレードのヘキサフルオロエタンは、主に半導体材料および半導体デバイスの製造プロセスでエッチング剤および洗浄剤、および断熱ガスと高誘電体強度クーラントとして使用されています。
パッケージと保管
ヘキサフルオロエタンは、CGAタイプ320交換可能な標準フィッティングの一致するジョイントを備えた真鍮バルブを備えた高圧耐性シリンダーで満たされています。包装仕様は、顧客の要件に応じてカスタマイズできます。
製品グループ : 半導体電子化学材料 > フッ素を含む高純度の電子スペシャルガス
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