Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
モデル: Xenon Difluoride CAS: 13709-61-0
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Xenon Difluoride CAS：13709-61-0 XEF2 99.9％3N半導体エッチング
Xenon Fluorideは中性またはアルカリ溶液で分解し、酸性溶液では比較的安定しています。水溶液には刺激的な臭気があります。 Xenon Difluoride Vaporは無色で、吐き気を催す悪臭があります。エレクトロニクス業界では、XEF2はシリコンのエッチングガスとしてよく使用されます。 XEF2とシリコンの間の化学反応は自発的な反応であるため、XEF2はシリコンのエッチングプロセスで非常に高い選択性を持っています。シリコン基板の表面に自由に拡散し、最も外側のシリコン原子と化学的に反応してガス状XEとガスーSIF4を生成することにより、XEF2、XEF2ガスをエッチングする過程で、シリコンの腐食が実現します。
製品パラメーター
|
Xenon difluoride（XeF2）≥ |
Vol.% |
99.9 |
|
Kalium（K）≤ |
mg/kg |
0.18 |
|
Calcium（Ca）≤ |
mg/kg |
0.15 |
|
Sodium（Na）≤ |
mg/kg |
0.70 |
|
Magnesium（Mg）≤ |
mg/kg |
0.12 |
|
Aluminum（Al）≤ |
mg/kg |
0.17 |
|
Zinc（Zn）≤ |
mg/kg |
0.30 |
|
Iron（Fe）≤ |
mg/kg |
1.21 |
|
Plumbum（Pb）≤ |
mg/kg |
0.07 |
|
Cuprum（Cu）≤ |
mg/kg |
0.05 |
|
Chromium（Cr）≤ |
mg/kg |
0.15 |
|
（Mn）≤ |
mg/kg |
0.04 |
|
Manganese（Mo）≤ |
mg/kg |
0.15 |
|
Nickel（Ni）≤ |
mg/kg |
0.83 |
|
Phosphorus（P）≤ |
mg/kg |
0.14 |
応用
Xenon Difluorideは、無機フッ化物と有機合成の調製に広く使用されている選択的フルリダイザーの一種ですが、気相と非水溶液でのみフルイダイザーとして使用でき、水溶液でのみ酸化剤として使用できます。さらに、XEF 2は通常、エレクトロニクス業界のシリコンのエッチングガスとして使用されます。
パッケージング、ストレージ
ジフルオリドXenonは安定した化合物であり、ニッケル容器またはアルミニウム合金のシームレスシリンダーに長い間保存できます。科学研究機関と企業のさまざまな要件を満たすために、包装仕様には100g、500g、1kg、2kg、5kgなどが含まれます。特定のパッケージ仕様は、ユーザーの要件に応じてカスタマイズできます。 Xenon difluorideは、酸化剤から分離された怪しげで換気された貯蔵室に保管され、火災源から遠ざけられた酸化剤から分離されます。
製品グループ : 半導体電子化学材料 > 半導体/ウェーハエッチング材料
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