Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
モデル: Perfluoropropane CAS: 76-19-7 C3F8
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Perfluoropropane CAS：76-19-7半導体エトン剤C3F8高純度99.999％5Nチップエッチング材料
製品導入
Perfluoropropane（C 3 F 8 ）は、一種の無色の、無臭、非炎症性不活性ガスです。通常の温度と圧力では、その融点は183.0℃で、沸点は36.7℃で、水に溶けません。オクタフルオロプロパンは、ヘプタフルオロプロパンとフッ素ガスの反応によって生成され、精製と整流後に電子グレード製品を得ました。電子グレードのオクタフルオロプロパンは、半導体材料と半導体デバイスの製造に使用されます。オクタフルオロプロパンと酸素の混合物は、シリコンウェーハの金属マトリックスと選択的に相互作用できるプラズマエッチング材料として使用されます。さらに、その生理学的耐性が高いため、主に硝子体網膜手術後のフィラーおよび造影剤として使用されます。
品質仕様
|
Items |
Unit |
Indexs |
|
|
C3F8 |
Vol.% |
≥99.999 |
≥99.9995 |
|
O2+Ar |
Vol.ppm |
＜1 |
＜0.5 |
|
N2 |
Vol.ppm |
＜5 |
＜1 |
|
CO |
Vol.ppm |
＜0.5 |
＜0.5 |
|
CO2 |
Vol.ppm |
＜0.5 |
＜0.5 |
|
CF4 |
Vol.ppm |
＜0.5 |
＜0.5 |
|
C2F6 |
Vol.ppm |
＜0.5 |
＜0.5 |
|
CH4 |
Vol.ppm |
＜1 |
＜1 |
|
H2O |
Vol.ppm |
＜1 |
＜1 |
|
Acidity (Mesured by HF) |
Wt. ppm |
＜0.1 |
＜0.1 |
|
Total impurity content |
Mol.ppm |
≤10 |
≤5 |
応用
半導体産業では、オクタフルオロプロパンはプラズマエッチング材料として使用されます。医学では、硝子体網膜手術後にオクタフルオロプロパンをフィラーおよび造影剤として使用できます。オクタフルオロプロパンは、冷蔵混合物の成分としても使用されます。
パッケージと保管
パーフルオロプロパンは、特別な治療で清潔で乾燥したシームレスなシリンダーで満たされています。シリンダーボリュームは4L、8L、10L、12.5L、40Lなどです。パッケージの仕様は、顧客の要件に応じてカスタマイズできます。
製品グループ : 半導体電子化学材料 > 半導体/ウェーハエッチング材料
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