Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
モデル: Hydrogen Fluoride CAS: 7664-39-3
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フッ化水素CAS：7664-39-3 HF 99.999％
ウェーハエッチング材料の純度
製品の使用
フッ化水素（HF）は、フッ化水素酸とも呼ばれ、分子量は20.01で、無色で透明な液体です。それは空中で喫煙し、刺激的な臭いがします。一般的な金属、金属酸化物、水酸化物と反応してさまざまな塩を形成することができます。フッ化物は非常に腐食性であり、ガラスとケイ酸塩を腐食させてガス状シリコン四重液を生成できます。電子グレードのフッ化水素は、主に洗浄剤およびエッチャントとして使用されており、太陽光発電産業、統合回路およびガラス薄化産業で広く使用されており、主要な補助材料の1つです。その純度と清潔さは、統合回路の収量、電気性能、信頼性に非常に重要な影響を及ぼします。
製品パラメーター
|
（F2）Fluorine |
Vol.% |
≧99% |
≧99.99% |
|
（CF4）Carbon tetrafluoride |
Vol.% |
≤0.1%（v/v） |
≤0.001%（v/v） |
|
（Air） |
Vol.% |
≤0.5%（v/v） |
≤0.006%（v/v） |
|
（HF）Hydrogen fluoride |
Vol.% |
≤0.2%（v/v） |
≤0.001%（v/v） |
|
（CO2）Carbon dioxide |
Vol.% |
≤0.1%（v/v） |
≤0.001%（v/v） |
|
（SF6）Sulfur hexafluoride |
Vol.% |
≤0.1%（v/v） |
≤0.001%（v/v） |
製品グループ : 半導体電子化学材料 > 半導体/ウェーハエッチング材料
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