Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
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C4F6 CAS：685-63-2 Hexafluoro-1 3-Butadiene 99.99％4n
チップエッチング剤
製品の使用
Hexafluoro-1,3-Butadiene（C 4 F 6 ）は、一種の無色、臭気のない、水不溶性ガスです。通常の温度と圧力では、その融点は132.0℃で、沸点は5.9です。ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンは、6つのフッ素原子と2つのカーボン炭素二重結合を含む一種の共役オレフィンです。エッチングガスは、独自のF/C比のため、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエネハスのより高いエッチング選択性、精度、およびアスペクト比よりも高い飽和飽和フルオロカーボンエッチングガス、ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンは100 nmm未満のものをエッチングできます。電子回路が狭い。さらに、C 4 F 6は、C 4 F 8のそれよりもフォトレジストと窒化シリコンの選択的比が高く、エッチングの安定性、エッチング速度、均一性を改善し、したがって製品の品質を改善できます。
製品パラメーター
|
Items |
Unit |
Index |
|
C4F6 |
Vol.% |
≥99.99 |
|
N2 |
Vol.ppm |
≤10 |
|
O2+Ar |
Vol.ppm |
≤2 |
|
H2O |
Vol.ppm |
≤3 |
|
CO2 |
Vol.ppm |
≤10 |
|
CO |
Vol.ppm |
≤3 |
|
Isopropanol |
Vol.ppm |
≤5 |
|
Other fluorocarbon |
Vol.ppm |
≤70 |
|
Measured by HF） |
Wt.ppm |
≤2 |
応用
半導体産物のプラズマエッチングのエッチングガスとして使用されます。
パッケージと保管
Hexafluoro-1,3-butadieneは、B10のモデル、14cm×83cmのサイズ、内部体積10.1L、14.7kgの総重量、10kgのペイロードを鋼製シリンダーで満たします。包装仕様は、顧客の要件に応じてカスタマイズできます。
製品グループ : 半導体電子化学材料 > 半導体/ウェーハエッチング材料
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