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ZSEMエッチング材料の革新は、継続的な成長の挑戦的な要件を満たしており、現在では、チップ工場に提供され、絶えず減少するサイズのウェーハチップを作るために、さまざまな高純度フッ素含有ガスを生産できます。
当社が製造したエッチングガスは、通常、トリクロリドホウ素11、ペルフルオロブタジエン、カルボニルフッ化物、トリフルオロオオドメタン、ジフルオリドXENON、オクタフルオロプロパン、オクタフルオロプロパン、窒素トリフルオリド、カーボンテトラフルオリド、高純度水素インフルオリドなどを含むフッ化物ガスです。
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